时间很快就进入了12月下旬。
这天李元刚开始设计真空炉自动控制专用芯片,就被军代表童志远打断工作。
“小李,跟我走!”
“等会,童大校,做什么你得给我说明白吧,这么大的摊子我说丢下就丢下!”
“哎哟,看我这急得。
我们在酒仙桥700厂建设好了无尘车间,主要生产4英寸晶圆。。。”。
“等等,你们不是说是在绵阳山区建设吗?”
“通过辩论,大家还是觉得放到京都更合适。
700工厂处于最东北角,可以修一条专门的马路,同时也能更好防护。
无尘车间直接和其他厂区分割,有专门的北门。
生产的晶圆全部供应军方,暂时不会用于民品。
如此,安全方面就可以得到保证,暂时不用担心泄密。
当然,绵阳将来也会建立一个更大型的晶圆生产厂,目前不急”。
“那你找我干什么?”
“你帮忙验收啊!除了你,我们都不懂。
而且,设备安装也需要你亲自上手,确保一次成功率”。
“你等会,先安排好工作,把肖工也带上吧”。
“你看着安排”。
十几分钟后,一辆普通嘎斯小汽车驶离变电站。
酒仙桥工厂区,在东北角有一个占地足有50亩的厂区,里面都是密密麻麻的厂房。
外围是高2米的红砖墙。
北边隔出一个分厂,相比于主厂区,这里的厂房显得低矮,最高才2层。
里面有着一座30多米长的厂房,靠北边院墙是一个二层红砖楼。
红砖楼1层是保卫科,二楼是办公区。
厂房就是普通水泥柱梁的红砖房,外观看起来普普通通。
从东门进入,布局和地下实验室类似。
不过进门是2个更衣室,男左女右。
首先进入的是一个走廊,右手边是两个车间,分别为切割和抛光车间。
左手边也是两个车间,分别是单晶棒制备车间和氧化车间。
分厂负责人,介绍一番无尘车间的除尘、保温、保湿的手段后,把大家领入一个个车间。
检测一圈后,几人站在走廊中,童代表急切的问道:“怎么样,符合要求吗?”
李元沉吟片刻,“毕竟这里是晶圆生产车间,条件还是无法和实验室相比。
但是生产合标的晶圆没有问题。
唯一要考虑的就是加强杂物清理,避免变成污染源”。
分厂厂长明显松了一口气。
刚见面,他见李元年轻,本不以为意。
但是当他了解到面前的年轻人,是全套晶圆生产设备主要设计者时,才收起了轻视之心。
但是对于他们这个无尘车间不如他们实验室的说法,仍持怀疑态度。
接下来,就是组装。
有了第一次的经验,再次组装便快速许多。
这次李元成为主力,肖工变成了帮手。
看着他熟练的动作,举重若轻的身手,分厂厂长更疑惑了。
“童代表,这小子到底是干什么的,怎么好像什么都会”。
童志远瞥了他一眼,“知道厉害就行,他的事情最好少打听”。
“这么严重?!”
“也就是你,其他人,我都懒得和他说”。
“说的也是,国内突然冒出4英寸晶圆生产线,初听我也是吓了一跳。原来是他们搞出来的”。
直到现在,在他的内心中,还是把李元当作一个参与者。
整整2天,童代表一直陪在车间,当起了勤务兵。
李元二人也是吃住在工厂,累了,就回办公楼随便眯一会儿。
如果不是照顾肖工,李元完全可以2天2夜不休息。
第三天上午试车,没有什么开工仪式,只有李元、肖工、童代表和10名学徒。
“你们谁是真空炉控制员?”
“我”,一个女声从队伍里传来。
只见举手说话的是一位不到1米6的姑娘,由于全都穿着防尘服,也看不清美丑。
“背一遍操作手册”。
“首先检测入料口是否密封。。。
。。。。。。
注意观察真空度,如果太低。。。
。。。。。。
最后关机”。
“好,通过,等会直接实操”。
“啊!”,姑娘用手套捂住了口罩,明显非常吃惊。
“谁负责提拉单晶棒?”
“我”,一个雄壮的男同志上前一步,“啪”一个立正。
一看就当过兵。
“背一遍操作手册”。
“首先清理干净坩埚,注入高纯度硅粉。。。
。。。。。。
注意真空度是否符合要求。。。
。。。。。。
注意观察硅液面的颜色。。。
。。。。。。
最后等待自然冷却”。
“很好,一会儿实操”。
“下一位。。。”
。。。。。。
半个小时后,单晶棒制备、切割、抛光和氧化四大主要流程考核完毕。
中途纠正了一些认知上的不足。
“好,开始加料”,李元一声令下,大家都忙碌起来。
分厂厂长走过来,“李同志,是不是您先演示一遍,再让他们上手”。
李员笑笑,“放心,都不是什么脆弱的物件,弄不坏。
让他们直接上手,犯错了,记忆深刻。
我一直坚信,成长经验是从失败中得来的。
刚开始,犯错是可以接受的。相比于他们快速成长,那点物资的浪费微不足道”。
分厂厂长是从战争时期走过来的,他最见不到浪费。
见李元坚持,他又走到童代表身边。
把他的担忧和建议和盘托出。
“小李是什么意思?”
“让他们直接上手,但是,这怎么可以,万一搞出问题,后果谁能承受”。
童代表看了他一眼,“他是专家,听他的就行”。
在李元的坚持下,他们开始了第一次实操。
李元站在他们的身边,给了他们一定的勇气。
李元发现一个很有意思的现象。
每一道工序,他们都有两人,一个人嘴里不断说出操作规程内容,另一个记录他的操作过程。
加料非常顺利,居然没有出现一次过错。
李元及时给出了肯定。
然后抽真空,也是非常顺利。
但是在提拉单晶棒时,出现了问题。
因为每一台提拉真空炉的零部件都有偏差,但是都在误差之内。
但是这些偏差,会影响提拉和旋转的速度。
所以,每一台都需要重新调校,中途也需要维护。
他们实验室不可能每次都派人过来,所以必须培养出懂得调校的人。
“放松,观察液面的颜色,注意单晶棒于液面过渡颜色。
对头,就是这个颜色”。
。。。。。。
“哎呀,还是有点快,放松,没事重新来过”。
。。。。。。
“1号轮调整好了,你看着接触过渡面,记住这个颜色”。
。。。。。。
“好,全部调校正确,恭喜你!”
面前的工人已经汗透,站在那里有一种虚脱的感觉。
突然,单晶棒颜色发生了剧烈的变化。
“怎么回事?”,分厂厂长急得大叫。